అత్యంత తక్కువ సాంద్రత కలిగిన వాయువును, సాధారణ గాలిలో దాదాపు వంద-వెయ్యి వంతు సాంద్రతను, అతి తక్కువ ఉష్ణోగ్రతలకు చల్లబరచడం ద్వారా కింది వాటిలో ఏ పదార్థం ఏర్పడుతుంది?