एमईएमएस फाउंड्रीज के बारे में निम्नलिखित में से कौन सा कथन सही है?
1. एमईएमएस फाउंड्रीज आईसी निर्माण के समान ही उपकरणों का उपयोग करती हैं।
2. MEMS उत्पादन, IC निर्माण की तुलना में सरल और तेज है।
3. एमईएमएस संरचनाएं आमतौर पर 3डी होती हैं जबकि आईसी 2डी होती हैं।