एमईएमएस में पीजोइलेक्ट्रिक सामग्रियों के बारे में निम्नलिखित कथनों पर विचार करें:
1. सिलिकॉन एक आदर्श पीजोइलेक्ट्रिक पदार्थ है।
2. PVDF और ZnO सामान्य पीजोइलेक्ट्रिक पदार्थ हैं।
3. पीजोइलेक्ट्रिक सामग्री एक्चुएटर के रूप में कार्य कर सकती है।
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केवल 1 और 2
2
केवल 2 और 3
3
केवल 1 और 3
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1, 2, और 3