MEMS उपकरणों में सूक्ष्म स्तर पर निम्नलिखित में से कौन सी समस्याएं उत्पन्न होती हैं?
1. घर्षण जड़त्व पर हावी होता है।
2. ऊष्मा का निष्कासन अधिक चुनौतीपूर्ण हो जाता है।
3. सिग्नल अखंडता स्वाभाविक रूप से बेहतर होती है।